產(chǎn)品簡介

基于專 利的、源自德國的主動式針尖技術(shù)，百及納米科技開發(fā)了下一代工業(yè)智能型原子力顯微鏡系統(tǒng)，針對工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用提供快速、智能的樣品形貌表征，適用于工業(yè)型檢錯、質(zhì)量評定和量化測量等，尤其適用于檢測大尺寸晶圓或光學(xué)晶圓。

系統(tǒng)集成了大尺寸樣品位移臺、全自動光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)和配套自動控制軟件，可對大尺寸樣品進(jìn)行的光學(xué)成像定位，根據(jù)光學(xué)成像結(jié)果自動標(biāo)定多個準(zhǔn)確測量區(qū)域，并根據(jù)缺陷/待測結(jié)構(gòu)的特點進(jìn)行模式識別，智能選取原子力顯微鏡測量參數(shù)，在樣品多個位置間自動移動，進(jìn)行可重復(fù)的高分辨率測量，生成檢測書面報告，整個過程無需人工參與，實現(xiàn)對大尺寸樣品形貌的智能化、自動化的高速、高質(zhì)量納米級測量。

產(chǎn)品特點：

· 頂 級自動化功能、測量過程無需激光調(diào)節(jié)、即插即用式針尖更換方案、快速自動進(jìn)針，

· 針對高深寬比的溝槽或孔洞結(jié)構(gòu)，采用特制的長針尖提供微納米結(jié)構(gòu)的三維形貌準(zhǔn)確測量，

· 可升級至多針尖并行測量模式，大幅提高微納結(jié)構(gòu)表征的范圍和效率，

· 可升級為基于針尖光刻的微納米結(jié)構(gòu)高性能加工系統(tǒng)，大氣環(huán)境下快速直寫5nm以下結(jié)構(gòu)。

功能指標(biāo)