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PHI Quantes 硬X射線光電子能譜儀（Al/Cr 雙掃描聚焦型）
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全自動(dòng)化的XPS系統(tǒng)采用一束掃描、聚焦、單色化的Al X射線源以及一束掃描、聚焦、單色化Cr X射線源用于高空間分辨率的化學(xué)態(tài)分析和HAXPES* ( 硬X射線光電子能譜分析）。Al單色化X射線
能量是1486.7 eV，Cr單色化X射線能量是5414.9 eV。單色化Cr X射線源分析深度是Al單色化X射線源的3倍。