產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

• 臺階高度：幾納米至1200μm

• 低觸力：0.03至15mg

• 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

• 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

• 緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

• 軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

• 臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形式：2D翹曲和形狀

• 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

• 大學(xué)，研究實驗室和研究所

• 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

• SIMS：二次離子質(zhì)譜

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能

• MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

• 汽車

• 醫(yī)療設(shè)備

• 還有更多：請與我們聯(lián)系并探討您的要求

應(yīng)用