上海伯東德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀MOCVD 設(shè)備檢漏
上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)，近日成功采購6臺氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340 用于 MOCVD 設(shè)備檢漏。
MOCVD 是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很強的物質(zhì)，因此在設(shè)備出廠時必須要考慮密封性，否則一旦有毒物質(zhì)泄漏，后果不堪設(shè)想！
上海伯東客戶某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè) MOCVD 設(shè)備檢漏實例：
MOCVD 需要檢漏位置：所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏，主要檢漏源供給、輸運和尾氣處理系統(tǒng)（例如管路接頭、管道、焊縫等位置）。
根據(jù)客戶實際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340+干式真空泵ACP 28 如下圖所示：

MOCVD設(shè)備檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設(shè)備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340，確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340，進入待機界面；初次啟動時間大約 3min，以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵，先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵ACP 28抽真空，到達一定壓力檢漏儀 ASM 340開始工作，同時在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣；若有漏，檢漏儀馬上報警，顯示該噴射點有漏。
4. 檢測完畢，按下檢漏儀待機鍵，放氣、關(guān)閉電源，移除連接管路。
* 鑒于信息保密，更詳細的MOCVD設(shè)備檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

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