﹡掃描方式: 線性掃描，線性-飛點掃描、鋸齒掃描

﹡檢測波長：190-900nm

﹡檢測方式：吸收法、反射法、熒光法、透射法

﹡臭氧消除：專利技術(shù)，消除紫外檢測產(chǎn)生的臭氧，恢復(fù)檢測信號

﹡掃描速度：20mm/s（分辨率；50μm)；10mm/s(分辨率：25μm)

﹡光源：全自動馬達(dá)控制，自動點亮，自動換燈和轉(zhuǎn)換濾光片，自動移位至最佳光路，軌跡優(yōu)化追蹤。

﹡氘燈：190-340nm，汞燈：250-580nm，鎢燈：340-900nm，全息光柵，1200線/mm，可接受氮氣沖洗裝置

﹡單色器：最小高度0.02mm，最大寬度10.0mm，64種組合任意選擇

﹡光束狹縫：光電倍增器，線性范圍1:105 光度分辨率：優(yōu)于±1nm

﹡光密度檢測器：波長重現(xiàn)性：優(yōu)于0.2nm   熒光濾光片370nm，420nm，550nm，并可依據(jù)需求另配

﹡標(biāo)準(zhǔn)配置：雙波長掃描，多波長掃描，全光譜掃描

﹡標(biāo)準(zhǔn)軟件配置：自動軌跡追蹤，軌跡優(yōu)化；曲線平滑因子校正；中英文操作軟件，自動數(shù)據(jù)處理

﹡載物臺尺寸：最大265 X 200mm（適合任意大小的板子）

﹡軟件操作,簡明方便,一看即會,WinXP/2000/NT界面