銷售ALD沉積銅、鎳、鉑、鈷、錳前驅(qū)體。可用于沉積相關(guān)金屬薄膜與氧化物薄膜。

銅前驅(qū)體可實(shí)現(xiàn)熱法沉積銅膜，無(wú)需使用等離子體輔助沉積。

實(shí)驗(yàn)室定制。

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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途