5865-91-8
METHYLTRIETHOXYGERMANE(METHYLTRIETHOXYGERMANE)
CAS: 5865-91-8
化學(xué)式: C7H18GeO3
<"" ="xl" "">| 中文名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE |
| 英文名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE |
| 英文別名 | METHYLTRIETHOXYGERMANE Germane, triethoxymethyl- Methyl-triaethoxy-germanium |
| CAS | 5865-91-8 |
| 化學(xué)式 | C7H18GeO3 |
| 分子量 | 222.86 |
| 密度 | 1,13 g/cm3 |
| 熔點 | <0°C |
| 沸點 | 166-167°C |
| 閃點 | 40°C |
| 折射率 | 1.4128 |
| 敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 比重 | 1.1280 |
| 風(fēng)險術(shù)語 | 10 - 易燃。 |
| 安全術(shù)語 | 16 - 遠(yuǎn)離火源。 |
| 危險品運輸編號 | 1993 |
| TSCA | No |
5865-91-8 - 簡介
METHYLTRIETHOXYGERMANE（正丙醇三乙氧基鍺烷）是一種有機金屬化合物。下面是關(guān)于它的性質(zhì)、用途、制法和安全信息的詳細(xì)介紹：性質(zhì)：
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 是無色至淺黃色液體，具有刺激性氣味。
- 它在常溫下易揮發(fā)，其密度輕于水。
- 該化合物具有較好的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性。
用途：
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 主要用于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，作為氣體源應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積（CVD）和金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）的過程中。
- 它在沉積鍺硅薄膜和制備金屬有機化合物薄膜等方面具有重要應(yīng)用。
制法：
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 的主要合成方法是通過鍺和三乙氧基化合物反應(yīng)得到。
- 一種常見的制備方法是將三乙氧基鍺烷與甲基鋰反應(yīng)，產(chǎn)生 METHYLTRIETHOXYGERMANE。
安全信息：
- METHYLTRIETHOXYGERMANE 是一種刺激性化合物，應(yīng)避免直接接觸皮膚和眼睛。
- 在使用時應(yīng)保持通風(fēng)良好的環(huán)境，并配備個人防護(hù)設(shè)備，如護(hù)目鏡、橡膠手套和防護(hù)服。
- 這種化合物具有可燃性，應(yīng)遠(yuǎn)離火源和高溫。
- 在儲存和處理時，應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩胧?，以防止泄漏和意外事故的發(fā)生。
最后更新：2024-04-10 22:29:15
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