三甲基乙氧基硅烷沸點(diǎn)為76.0 °C。該物質(zhì)的其他信息：

基本性質(zhì)

英文名是Ethoxytrimethylsilane，CAS號是1825-62-3，分子式C5H14OSi，分子量是118.25，它的InChIKey是RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N。

物化性質(zhì)

蒸汽壓力是114.79 mmHg。