中文名稱： 六氟化鎢  

 中文別名： 六氟化鎢;氟化鎢;六氟化鎢;氟化鎢(VI);氟化物測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液  

 英文名稱： Tungsten(VI) fluoride  

 英文別名： Tungstenfluoride;TUNGSTEN HEXAFLUORIDE;TUNGSTEN(VI) FLUORIDE;(oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6;Hexafluorotungsten;Tungsten fluoride (WF6);Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-;WF6  

 CAS號(hào)： 7783-82-6  

 EINECS號(hào)： 232-029-1  

 分子式： F6W  

 分子量： 297.83  

 InChI： -  

 分子結(jié)構(gòu)：  

 密度： d15liq 3.441  

 熔點(diǎn)： -2.3 °C(lit.)  

 沸點(diǎn)： 17.5 °C(lit.)  

 閃點(diǎn)： -  

 折射率： -  

 蒸汽壓： 10hPa at 20℃  

 物化性質(zhì)： -  

 產(chǎn)品用途： 六氟化鎢（WF6）是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強(qiáng)的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽能吸收器以及 X 射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。  

 危險(xiǎn)品標(biāo)志：    

 風(fēng)險(xiǎn)術(shù)語： -  

 安全術(shù)語： 如果接觸眼睛，請立即用大量清水沖洗喝水并尋求醫(yī)療建議、穿戴合適的防護(hù)服、戴上合適的手套、佩戴眼部/面部防護(hù)用品、如果發(fā)生事故或感到不適，請就醫(yī)立即提出建議（如有可能，展示標(biāo)簽）